选型指南

产品对比矩阵

参数 / 型号	F800 小型实验用	F2 制度型	F3 迅捷型	3S-W3 环境型	F810 催化剂
产品类型	尾气分解器	尾气分解器	尾气分解器	环境尾气分解器	催化剂
催化剂类型	锰氧化合物	改性活性负载金属氧化物	改性活性负载金属氧化物	改性活性负载金属氧化物	改性活性负载迅捷金属氧化物
处理流量	<2 L/min	≤5 L/min (100mg/L)	≤12 L/min (100mg/L)	50 m³/H	—
分解率	出气 <0.1ppm	99.99%	99.9%	99.5%	>99.9%
进气压力	<0.1 MPa	<0.1 MPa	<0.1 MPa	—	—
接口	φ6 或 φ8	1/4 NPT（可定制）	可定制	—	柱状 φ3mm
工作温度	<30°C（环境）	常温	常温	100°C	-10~300°C
电源	无需通电	无需通电	无需通电	3×380V / 3.0KW	—
尺寸	360×40 mm	175×65 mm	400×102 mm	500×550×1200 mm	φ3mm×(3~5) 颗粒
重量	—	3 kg	6 kg	45 kg	堆比重 0.7~1.1 g/ml
使用寿命	外壳 >10 年 / 催化剂 3-5 年	全不锈钢，无移动部件	全不锈钢，无移动部件	智能温控，防干烧	>5 年
适用场景	实验室小试、仪器尾气	CVD/ALD/MOCVD/Ashers/Wet tools	CVD/ALD/MOCVD/Ashers/Wet tools	环境臭氧处理	催化剂更换/定制体系

1

实验室小试 → F800 | 半导体装置配套 → F2/F3 | 环境臭氧治理 → 3S-W3 | 催化剂更换 → F810

↓

2

<2 L/min → F800 | ≤5 L/min → F2 | ≤12 L/min → F3 | 大空间环境处理 → 3S-W3

↓

3

无需通电（常温催化）→ F800/F2/F3 | 可接受通电加热 → 3S-W3

↓

4

确认安装空间、接口规格（φ6/φ8/1/4NPT/定制）、是否需要移动式设计等物理条件

推荐 F800 小型实验用臭氧尾气分解器 — 无需通电，锰氧化合物催化剂，体积极小（360×40mm），适用于臭氧小试尾气分解和仪器臭氧尾气分解。

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推荐 F2 制度型臭氧分解器 — 99.99%处理效益，全不锈钢结构，无移动部件，适用于 CVD、ALD、MOCVD、Ashers、Wet tools。

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推荐 F3 迅捷型臭氧分解器 — 大流量处理（≤12 L/min），99.9%分解率，适用于高流量半导体工艺装置的尾气处理。

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推荐 3S-W3 环境臭氧尾气分解器 — 50m³/H 处理量，智能温控，移动式的设计，适用于洁净室环境臭氧浓度控制。

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